Турбомолекулярные насосы являются критически важными компонентами систем, предназначенных для откачки газа и создания глубокого вакуума. По своей сути это высокоскоростные турбинные устройства, использующие вращение лопастей на скоростях до десятков тысяч оборотов в минуту для удаления газовых молекул. Принцип действия турбомолекулярных насосов https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/ основан на передаче кинетической энергии от лопастей ротора молекулам откачиваемого газа.

Особенности и назначение устройств

В отличие от других типов вакуумных насосов, турбомолекулярные агрегаты способны создавать сверхвысокий вакуум порядка 10 в минус 10 степени мбар - диапазон, недостижимый для каких-либо механических насосов. При этом они демонстрируют высокую производительность – до тысяч литров газа в секунду на всем диапазоне рабочего давления.

Устройства широко используются в следующих областях:

• В электронной промышленности при производстве электронно-лучевых трубок, газоразрядных панелей, солнечных батарей и других вакуумных электронных компонентов.
• В научных исследованиях - в вакуумных камерах для физических экспериментов, ускорителях элементарных частиц, аналитическом оборудовании.
• В пищевой промышленности для вакуумной сушки и упаковки продуктов, а также при производстве композитных материалов.
• В металлургии для очистки металлов от газов.
• В химической промышленности - для синтеза полупроводников, сверхчистых материалов, лекарственных веществ.

Конструктивно турбомолекулярный насос состоит из нескольких основных узлов: ротора с лопастями, статора, электродвигателя и вакуумного корпуса. Ротор приводится в движение асинхронным электродвигателем на подшипниках.

Для обеспечения непрерывной работы турбомолекулярные насосы должны охлаждаться встроенной системой водяного или воздушного охлаждения.

Таким образом, турбомолекулярные насосы являются незаменимыми для получения и поддержания сверхвысокого вакуума в промышленном производстве.